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ウェーハマッピング装置RD8-WLシリーズ（WL26及びWL48）は最大測定面積200×200mmまでの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。2～6インチと4～8インチ自動搬送仕様から選べられます。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれており、お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。

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LED/LDの研究・生産用途向け2,3,4インチウェーハ対応フォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定装置

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LED/LD研究・生産用途向け2,3,4インチウェーハ対応フォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定装置

※ 自動ウェーハローディング装置付き（内蔵カセット:ウェーハ 25×2 列）
ウェーハ検出・測定位置決定の自動化

RD8-ST_previewr.png RD8-CP-325_front_side.png RD8-WL-Prototype1.png RD8-CP-325_back_side.png

ウェーハマッピング装置RD8シリーズは最大測定面積200×200mmまでの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれており、お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。

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透過光源により蛍光体特性をマッピングする測定装置です。
2、4インチまでのウェーハホルダーを設定できます。

ご要望に合わせて装置の個別設計も可能です。

ご要望に応じて、様々な形状やサイズのウェーハに対応させ、測定項目の追加や個別測定なども開発いたします。
詳細は弊社までお問い合わせください。

 

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透過光源による蛍光体特性をマッピングする測定装置です。
2、3インチまでの円形または正方形のウェーハホルダーを設定できます。

ご要望に合わせて装置の個別設計も可能です。

ご要望に応じて、様々な形状やサイズのウェーハに対応させ、測定項目の追加や個別測定なども開発いたします。
詳細は弊社までお問い合わせください。

 

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