YGrowthMonitor (ワイ・グロース・モニタ)は結晶成長のその場観察(インシチュ・モニタリングとも言う)測定システムです。温度や反射率、透過率、膜厚、表面粗さ、ウェーハ反りなども結晶成長中に評価できる製品です。

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