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広範囲にわたる励起条件を変えることでバンドエッジ発光と不純物発光を比べることができることで、SiCやGaN系ハイパワー半導体素子の信頼性について重要な情報が得られ、結晶成長の質を数値化することができます。

YWafer-RD8は今までのGSやYB型の製品以上の性能と速さを持ち、最大200 x 200mm または 8インチウェーハの面積に対応した多機能マッピング装置です。

YWafer Mapper RD8 製品

  • 徳島県徳島市東沖洲1丁目3-4
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