LED/LD研究・生産用途向け2,3,4インチウェーハ対応フォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定装置

自動ウェーハローディング装置付き(内蔵カセット:ウェーハ 25×2 列)
ウェーハ検出・測定位置決定の自動化

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