LED生産用の全自動ウェーハ分布測定装置 (YWafer Mapper GS4-WL)が上海で立ち上がりました。高速PL、成膜厚、ウェーハそりなどをすべて同時測定可能になっている最新技術を利用して発光ダイオードの大量生産に利用される予定です。

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